马高印博士在物理与电子电气工程学院举办线上学术讲座
日期:2021-09-17 15:13:40  发布人:电子信息与电气工程学院  浏览量:41 打印本文





会议现场


   本网讯(通讯员 向阳)916日下午,上海交大马高印博士受邀在物理与电子电气工程学院(以下简称“物电”学院)104教室,为2019级电信专业的学生举办一场题为“硅基MEMS热膜式空气质量流量传感器”的专职讲座。 本次线上讲座由物电学院李亚兰博士主持。


马高印在2010年毕业于上海交通大学微电子学与固体电子学专业,主要从事MEMS器件与技术研究。此次讲座就硅基MEMS热膜式空气质量流量传感器设计技术的内容进行重点报告。同时还讲解了该项目的研制背景,难点与不足,技术创新点,达到的技术水平,应用情况经济与社会效益等各个方面。其中,MEMS空气质量流量传感器需要解决的五个关键技术是设计、加工工艺、电路、芯片测试、量计测试标定技术,其包含十一个技术难点,马高印为同学们一一作出讲解。在技术水平方面,该项目具有完全自主知识产权,马高印单位研制的硅基MEMS热膜式空气质量流量传感器在测量范围、精度、稳定性、可靠性等方面达到国内领先、国际先进水平。


本次线上报告会在马高印的悉心讲解下,学生接触认识到硅基MEMS热膜式空气质量流量传感器的设计前沿对于我国科技发展的重要性。




编辑:蔡远 李诗韵 审核:邓建安

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